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第168章 二代半光刻机（第1页）

，四合院：芯生年代

赵烨和慈教授，再一次蹲在了八号实验室的地下车间，就跟几年前差不多的一个情景。

看着满地的零部件，慈教授一阵牙疼。

赵烨这一次真的是一反常态，说是要升级光刻机，可是，既没有升级的技术路线资料，也没有一个验证实验报告。更夸张的是，连个设计图都没有！

这哪里是搞科研的态度？慈教授刚刚的兴奋，立马就被赵烨的这种“儿戏”的科学态度，弄的火冒三丈！

我是这么教你的吗？

两个人就这样，一边争论，一边进行。

赵烨虽然没有画图，但他脑子里有完整的设计思路，甚至有完整的设计图。

他只是把现实里的东西，一点点拼接成自己脑海中的样子。

当然了，零件大部分还是二代光刻机的零部件，只不过，在一些部位作出修改。

修改的部分也简单，赵烨需要什么，基本上都是现场加工。慈教授和谢教授看着赵烨的一通操作，真的无法想象。

这怎么看都像街头的烂木匠打家具，完全是试着来！

“赵烨，你这到底在弄什么呀？你这连个图纸都没有，能行吗？”

慈教授再次忍不住的说了这么一句。坦白讲，他一点信心都没有。赵烨的这个做法，是违背科研常识的。

“老师，放心吧，我只是在之前的设备上稍加改进，并没有做什么大的改动。原理跟以前还是一样的。”

“那你做了哪方面的改进？说明文件你总得写一个吧！你要是没时间，你跟我说说，我来写也行。”

“害，就是个小改动，写不写的不着急。我们先把成品做出来，等改进完成了，咱们有的是时间写，您说对吧？”

“改完了写？改完了还写那个干什么用？”慈教授终于忍不住了，你大学白上了？做研究的基本程序你都不记得了？真是后悔了，当初就不该让你毕业！

“你们这师徒俩就别争了，再争下去，天都要黑了！”谢教授实在听不下去了，这师徒俩的争论一整天都没停下来过。

其实谢教授也能理解慈教授的心思，做研究的人就是这样，只要看到了新技术，都想第一时间了解他的全貌。现在看着自己的学生一步步的操作，自己却不知道原理和方法，心里着急是肯定的。

整整两天时间，赵烨才把相应的部件做完，整台设备也组装完毕了。

“怎么感觉有点怪呢？”慈教授看着眼前的设备，自言自语的说道。

“老师，一会儿您就知道了。”赵烨说完，就开始操作设备，给硅晶片做前期加工准备。

“烨子，你用的光刻胶是新的配方工艺吗？我看跟之前用的不太一样。”谢教授看到赵烨加注到设备里的材料，跟之前的材料有很大的区别，这才有了这一问。

“嗯，是的，为了配合新设备，之前的光刻胶我做了一些改进。”赵烨手上不停，嘴里跟谢教授解释道。

一套准备工作完成，赵烨又回到了光刻机这边。两位教授看着赵烨，在光刻机的一个玻璃容器内，加注了一种澹蓝色的液体。

“这是什么？”

“水。”

“什么水？”

“纯净水，纯净度四个九的水。”赵烨解释道。水在一步步洁净之后，就会呈现出这样的澹蓝色。

赵烨没有再多说，而是准备亲自操作眼前新组装出来的光刻机，实验一下他的想法。

“赵烨，为什么要加水？什么原理？”慈教授瞪大眼睛看着，脑子里充满了各种风暴。

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